LUPHOScan HD非接觸式三維光學輪廓儀可對高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰性的表面的半徑和不規則度進行高精度的非接觸式三維輪廓測量。
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在測量過程中,探頭對被測物體的整個表面執行螺旋掃描,并生成高密度3D數據。 通過使用空氣軸承主軸旋轉物體來實現掃描,同時使用線性平臺使傳感器徑向和軸向移動。 旋轉平臺使傳感器垂直于物體表面。 移動平臺的布局提供了很高的靈活性,即使對于不常見的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點的輪廓)也是如此。 基于所采用的MWLI傳感器技術的絕對測量能力,計量儀器還可以檢查不連續的光學器件,例如分段表面,環形透鏡,非球面透鏡和軸錐。 此外,LuphoSwap擴展組件還可以確定透鏡的厚度以及楔形和偏心誤差。 它的軟件還可以用于分析(全自動)光學表面相對于用戶定義的參考表面的定位,例如鏡片周邊,任何鏡片安裝座或模具鏡筒。 |
LuphoScan平臺可提供出色的形狀測量精度。 這是通過特別的參考框架概念和遵循阿貝原理的精密的參考傳感器布置實現的。 在LuphoScan 260 HD平臺中,通過選擇新的材料,改進的傳感器控制,實時包括周圍環境以及先進的校準功能對概念進行了優化。 這樣,高清系統在90°范圍內提供的絕對測量精度優于±50 nm(3σ)。 此外,測量結果的可重復性和本底噪聲得到了非常大的改善。 下圖顯示了在高達90°的重復測量中確定的校準球(D = 25 mm)的功率和PV誤差變化的示例。 在14小時的測量期間內,功率和PV的變化分別保持小于±15 nm和±5 nm。 |
測量能力非常高 |