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LUPHOScan HD非接觸式三維形狀測量設備

LUPHOScan HD非接觸式三維光學輪廓儀可對高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰性的表面的半徑和不規則度進行高精度的非接觸式三維輪廓測量。

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LUPHOScan HD


用于測量非球面、自由曲面光學元件和透鏡模具的非接觸式三維形狀/外形測量設備。
LUPHOScan HD非接觸式三維光學輪廓儀可對高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰性的表面的半徑和不規則度進行高精度的非接觸式三維輪廓測量。LUPHOScan HD的穩定性是Lin先的,特別在一些嚴苛的環境下,也能保證對非球面和自由曲面進行高精度地快速輪廓測量,新一代LUPHOScan HD三維輪廓儀是在高達 90°的采樣斜率上精度優于 50 nm (3σ) 的儀器。
LuphoScan 260/420 HD測量臺開創了光學表面高精密計量的新領域。新一代的測量系統能夠測量物件角度大至90° 度,絕對測量精度高于±50 nm (3σ) 。測量結果有著很高的重復性且低噪音。
全新的 LuphoScan 260/420 HD是對高精度有著很高要求應用的理想選擇,是生產過程控制的基本要求。可測量坡度很高的表面、具有不同間距方向的表面、很小的表面例如手機鏡頭模具。

Technology

Accuracy

在測量過程中,探頭對被測物體的整個表面執行螺旋掃描,并生成高密度3D數據。 通過使用空氣軸承主軸旋轉物體來實現掃描,同時使用線性平臺使傳感器徑向和軸向移動。 旋轉平臺使傳感器垂直于物體表面。 移動平臺的布局提供了很高的靈活性,即使對于不常見的表面形狀(包括陡峭的坡度或帶有拐點的輪廓)也是如此。
基于所采用的MWLI傳感器技術的絕對測量能力,計量儀器還可以檢查不連續的光學器件,例如分段表面,環形透鏡,非球面透鏡和軸錐。 此外,LuphoSwap擴展組件還可以確定透鏡的厚度以及楔形和偏心誤差。 它的軟件還可以用于分析(全自動)光學表面相對于用戶定義的參考表面的定位,例如鏡片周邊,任何鏡片安裝座或模具鏡筒。
LuphoScan平臺可提供出色的形狀測量精度。 這是通過特別的參考框架概念和遵循阿貝原理的精密的參考傳感器布置實現的。
在LuphoScan 260 HD平臺中,通過選擇新的材料,改進的傳感器控制,實時包括周圍環境以及先進的校準功能對概念進行了優化。 這樣,高清系統在90°范圍內提供的絕對測量精度優于±50 nm(3σ)。 此外,測量結果的可重復性和本底噪聲得到了非常大的改善。
下圖顯示了在高達90°的重復測量中確定的校準球(D = 25 mm)的功率和PV誤差變化的示例。
在14小時的測量期間內,功率和PV的變化分別保持小于±15 nm和±5 nm。

測量能力非常高

HD = 高分辨率
快速的、值得信賴的非球面表面非接觸式三維形狀測量

高精度 - 物件坡度高至90°。
是測量大的、陡峭的和很小的非球面鏡頭(如手機鏡頭模具)的理想選擇

測量結果很高的重復性
Power和PV測定參數的穩定性

系統噪音很低
堅固耐用,不受環境變化的影響
LuphoScan平臺是基于利用MWLI技術(多波長干涉儀)的光學(非接觸)點探針的掃描干涉儀。
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